科研單位常用的真空泵可以分為兩類，一類是前級泵,是高真空系統獲得前級壓強的泵，大多是機械泵，常見的有活塞泵、水環式真空泵和油封式轉動泵等，目前普遍應用的是水環式真空泵，它的極限真空壓強較高：

另一類泵是次級泵，是在前級泵工作后，達到某一真空度時才開始工作的，它是獲得高真空的主要工具。實驗室常采用旋片式真空泵．它主用來排除密封容器中的非腐蝕性氣體，也可作為真空機組的前級泵。