羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種無內緊縮的旋轉變容式真空泵。依據羅茨泵工作壓力范圍不同,可分為直排大氣的干式羅茨泵和濕式羅茨泵,這種羅茨泵屬于低真空羅茨泵;此外還有中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。羅茨泵具有以下的特性:
①在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
②設有旁通溢流閥,可在大氣壓力下啟動,縮短了抽氣時間;
③轉子之間、轉子與泵腔壁之間有間隙,泵內運動無摩擦,不用光滑,泵腔內無油;
④轉子外形對稱,動均衡性能良好,運動平穩,選擇高精度的齒輪傳動,運動時噪聲低;
⑤構造緊湊,占空中積小,通常選臥式構造,泵腔內氣體垂直活動,有利于被抽的灰塵或冷凝物的掃除;
⑥選擇適合的轉子型線和精密的研磨加工,可取得較高的容積效率;
⑦運轉維護費用低。
羅茨泵在真空系統中,普通與前級泵(旋片泵、滑閥泵和水環泵等)串聯構成機組,在中真空范圍,作為機械增壓泵來應用;雙級或多級羅茨泵機組可取得高真空;關于干式清潔無油的抽氣系統多用氣冷式羅茨泵機組;關于含水蒸氣的被抽系統,多用濕式羅茨泵。
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