近年來真空技術的應用領域日趨廣泛，已擴展到整個工業。而在以半導體、電子工業為代表的制造工藝中，迫切要求無油污染的

清潔真空。因被抽氣體往往含有腐蝕性蒸汽及磨損粒子，油封泵對此是無能為力的。因而近年來某些國家相繼研制出工作在大氣

壓到0.1pa區域內的干式真空泵，以滿足干式工藝的要求。

干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式、接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉，但最大壓縮比

小。接觸型的轉速不能太高，但最大壓縮比大。尤其在大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者5-8倍。另外，干式真空

泵的轉速越高，其壓縮比越大，所以干式真空泵的轉速多為3000r/min .

從使用壽命、所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，采用多級爪式轉子串聯或羅茨轉子與多級爪型轉子串聯組合成干

式真空泵。

這種泵采用了形狀復雜的爪型轉子，它也類似羅茨泵型式，兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口分別固定

在兩側端蓋的側面上，有轉子在旋轉過程中自動開閉。目前有兩種結構型式，一種是三級爪型轉子加一級羅茨型轉子構成的多級

泵，另一種是四級爪型轉子串聯構成的多級泵。

由于爪式泵沿軸向逆流少，故壓縮比在高壓區較高。

這種泵的吸、排氣口設置在泵腔的端壁上，多級連接很方便，氣道流暢，泵內腔壓力變換平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。

為了防止可凝性氣體在泵內凝結，也要向泵腔內通凈化氣體�，F在的爪式泵極限壓力為1-10pa，抽速為100-180m3/h，有系列產

品出售。爪式泵也有單級、多級泵出售。