一、真空泵的技術術語，真空泵除主要特性，極限壓力，流量和抽氣速率之外，尚有一些名詞術語表達泵的有關性能和參數：

(1)氣動壓力。泵無損害啟動并有抽氣作用時的壓力。

（2）前級壓力。排氣壓力低于101325pa的真空泵的出口壓力。

（3）最大前級壓力。超過它能是泵損壞的前級壓力。

（4）最大工作壓力。對應最大流量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損害。

（5）壓縮比。泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

（6）合適系數。泵抽氣通道面積上的實際抽氣速率與該處按分子泄流計算的理論抽氣速率之比。

（7）抽氣系數。泵的實際抽氣速率與泵入口面積按分子泄流計算的理論抽氣速率之比。

（8）反流率（單位：g.cm-2.s-1)。泵在規定條件下工作時，與抽氣方向相反而通過泵入口的單位面積、單位時間的泵液的質量流率。

（9）水蒸氣允許量（單位：kg/h）。在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣的質量流率。

（10）最大允許水蒸氣入口壓力。在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣的最高入口壓力。

二、真空泵用途

根據真空泵性能，在各種應用的真空系統中它可承擔如下一些工作。

（1）主泵。在真空系統中，用在獲得所要求的真空度的真空泵。

（2）粗抽泵。從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

（3）前級泵。用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。

（4）維持泵。在真空系統中，當抽氣量很小時，不能有效地利用主要前級泵，為此，在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

（5）粗（低）真空泵。從大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。

（6）高真空泵。在高真空范圍內工作的真空泵。

（7）超高真空泵。在超高真空范圍內工作的真空泵。

（8）增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統，在中間壓力范圍內的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵（如機械增壓泵和油增壓泵等）。