由于各種電真空器件的工作原理是基于電場、磁場來控制電子在空間的運動借以到達放大、振蕩、顯現圖象等目的。因而真空泵系統能防止電子與氣體分子間的碰撞，保證電子在空間的運動規律，避免發射熱電子的陰極氧化中毒，把電子器件內抽成不同電真空器件所請求的不同真空度、保證電子器件的正常工作。

目前電真空工業中所消費的電真空器件主要有各種電子管 ( 整流管、發射管、收信管、速調管、行波管、磁控管、光電管等 ) ；各種離子管 ( 泵弧整流管、引燃管、計數管、閘流管、噪音管、雷達電線開關等 ) ；各種電子束管 ( 示波管、攝象管、顯象管、 x 光管、變象管等 ) ；各種電光源管 ( 照明燈，光譜燈、儀器用燈等 ) 以及中子管、電子衍射儀、電子顯微鏡、 x 光顯微鏡，各種粒子加速器、質譜儀、核輻射譜儀、氣體激光器以及應用真空中電子束停止除氣、熔煉、區域提純、難熔金屬和介質的凝結和鉆孔，開槽切割、放射性同位素的蒸發，難熔金屬的焊接等許多方面。這些電子器件及工藝，在近代科學和近代大工業消費中所起的作用是顯而易見的。